ターンテーブル

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-184777
公開番号（公開出願番号）：特開2001-014764
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】原盤のサイズ及び形状に関係無く,原盤をターンテーブルに真空吸着及び離脱でき,一つの装置で様々な原盤処理を可能とする。【解決手段】ターンテーブルヘッド2に真空引き,及びガスパージ用の溝7,及び穴1を円周半径毎に独立で設け,真空引き,及びガスパージを,各溝7単位で独立で制御できるように,ターンテーブルの内部にこれらの各穴1を集約し,それらを独立して塞ぐための軸を有す。原盤のサイズ,形状により,穴1を軸で塞ぎ,もしくは開放する。【効果】原盤サイズ,形状毎の真空吸着及び離脱の制御が可能となり,原盤に対するフレキシブル性が向上し,一つの装置で様々な原盤処理が可能となる。

請求項（抜粋）：

原盤を真空吸着離脱するターンテーブルの設置面の真空引き,及びガスパージ用の溝を円周半径毎に独立で設けてあることを特徴とするターンテーブル。

IPC (4件)：

G11B 17/028 601 , G11B 7/26 501 , G11B 19/20 , G11B 25/04 101

FI (4件)：

G11B 17/028 601 Z , G11B 7/26 501 , G11B 19/20 N , G11B 25/04 101 T

Fターム (5件)：

5D038CA14 , 5D038FA04 , 5D121BB21 , 5D121JJ01 , 5D121JJ09

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