特許

J-GLOBAL ID：200903041759793270

透明バリアフィルムおよびその製造方法

発明者： 盧 和敬
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
代理人 (1件)： 野田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-125637
公開番号（公開出願番号）：特開2009-274251
出願日： 2008年05月13日
公開日（公表日）： 2009年11月26日
要約：

【課題】酸化珪素膜をバリア層に用い、透明性、バリア性に優れた透明バリアフィルム、およびこの透明バリアフィルムを効率的に製造可能な製造方法を提供する。【解決手段】本発明の透明バリアフィルムは、プラスチック基材2の片面または両面に、少なくとも3層以上の高密度酸化珪素膜3aと低密度酸化珪素膜3bを順次積層してなるバリア層3を有する透明バリアフィルム1であって、高密度酸化珪素膜成膜時に、炭素含有前駆体を核とした膜を形成後に酸素を含む反応性ガスプラズマで処理する成膜方法を用いる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

プラスチック基材の片面または両面に、少なくとも3層以上の酸化珪素膜を第1層から第n層まで順次積層してなるバリア層を有する透明バリアフィルムであって、 前記バリア層は、高密度酸化珪素膜と低密度酸化珪素膜を交互に積層してなることを特徴とする透明バリアフィルム。 (ここで、nは3以上の整数を表す)

IPC (4件)：

B32B 9/00 ,  H05B 33/02 ,  H01L 51/50 ,  C23C 16/42

FI (4件)：

B32B9/00 A ,  H05B33/02 ,  H05B33/14 A ,  C23C16/42

Fターム (37件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC23 ,  3K107DD13 ,  3K107DD16 ,  3K107DD19 ,  3K107FF02 ,  3K107FF15 ,  3K107GG28 ,  4F100AA20B ,  4F100AA20C ,  4F100AA20D ,  4F100AA20E ,  4F100AH06 ,  4F100AK01A ,  4F100AT00A ,  4F100BA04 ,  4F100BA05 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10E ,  4F100BA25 ,  4F100EH66 ,  4F100EJ12 ,  4F100EJ61 ,  4F100GB41 ,  4F100JA14B ,  4F100JA14D ,  4F100JA15C ,  4F100JA15E ,  4F100JD02 ,  4F100JN01 ,  4K030BA44 ,  4K030BB12 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030JA10 ,  4K030LA11

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 有機EL表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-296585   出願人：株式会社オートネットワーク技術研究所, 住友電装株式会社, 住友電気工業株式会社
• ガスバリア性積層フィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-234947   出願人：凸版印刷株式会社
• 透明バリアフィルムの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-045136   出願人：大日本印刷株式会社

審査官引用 (2件)

• ガスバリア性樹脂基材および有機エレクトロルミネッセンスデバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-012249   出願人：コニカミノルタホールディングス株式会社
• プラスチックスシートからなる包装材料にガス遮断性に優れた珪素酸化物薄膜を被覆する方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-130941   出願人：岸本昭