特許
J-GLOBAL ID：200903041763559401
バルグ試料における光学的性質の測定のための干渉計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-363902
公開番号（公開出願番号）：特開平11-257914
出願日： 1998年12月22日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【目的】 バルグ試料の光学的性質を測定するための方法及び装置が提供される。この装置の2つのアーム、即ち、その両方がレーザ光を導通するためにオプチカルファイバを含む参照アームと測定アームにプローブレーザが供給される。【構成】 測定アームは試験される試料を取り付けるための自由空間領域を含んでいる。プローブビームは自由空間中の試料に至る。試料は又、第二ポンプレーザから、オプチカルファイバを通してでなく、自由空間に光を受ける。試料とポンプレーザとの相互作用により試料の光学的性質が影響を受ける。【効果】 この光学的性質の変化は、測定アームと参照アームからの出力信号を比較することにより検出することが出来る。
請求項（抜粋）：
干渉計において、プローブビーム源として用いられる第一光源、上記第一光源からの光信号を出力検出器に案内するための1つ又はそれ以上の光学的案内から構成される参照アーム、上記プローブビームが試験中の試料を通して案内されるように、複数の光学的案内、レンズ、及び上記試験中の試料を取り付けるための自由空間領域から構成される測定アーム、上記自由空間領域中の上記試料に与えられるポンプビームの源として用いられる第二光源、及び上記参照アームから受信される信号を上記測定アームから受信される信号と比較する手段によって上記試料の光学的性質の変化を検出するための光検出器を含むことを特徴とする干渉計。
IPC (3件)：
G01B 9/02
, G01J 3/45
, G01N 21/45
G01B 9/02
, G01J 3/45
, G01N 21/45 A
