特許

J-GLOBAL ID：200903041764778506

ロボットにおける冷却ハンド

発明者： 犬飼 泰弘
出願人/特許権者： アシストジャパン株式会社
代理人 (1件)： 飯田 昭夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-153829
公開番号（公開出願番号）：特開2002-346965
出願日： 2001年05月23日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】【課題】高温の基板を搬送する際、ハンドの変形を防止でき、吸着用空気の洩れのない冷却ハンドを提供すること。【解決手段】ハンド10の基板支持部12は、冷却流体が循環するパイプ体14と、基板wを吸着する吸着部15とを有して構成される。パイプ体14は、ロボット内に設置される流体供給装置に接続するとともに元部11に配置されたパイプ支持部13から前方に延設して2腕を形作るように屈曲して配管されて内部に冷却流体が循環される。そして、基板支持部12を構成するパイプ体14はパイプ支持部13から延設されたパイプ体延設部141の部位で形成され、また、基板支持部12を構成する吸着部15は、基板Wを吸着するために形成された吸着孔162を有する吸着片16と、吸着孔162に接続する基板吸着用パイプ延設部151とで形成されている。

請求項（抜粋）：

基板を支持する基板支持部とロボットに回動可能に連結される元部とを有し、加工処理された基板を搬送するロボットにおける冷却ハンドであって、前記基板支持部が、冷却流体を循環するパイプ体と前記基板を保持する保持手段とを有して構成されていることを特徴とするロボットにおける冷却ハンド。

IPC (4件)：

B25J 15/06 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

B25J 15/06 N ,  B65G 49/06 A ,  B65G 49/07 G ,  H01L 21/68 B

Fターム (17件)：

3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007ES17 ,  3C007EV11 ,  3C007EW18 ,  3C007FS01 ,  3C007FT06 ,  3C007FT11 ,  3C007FU09 ,  3C007NS12 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031GA08 ,  5F031GA32 ,  5F031GA37 ,  5F031PA18