特許
J-GLOBAL ID：200903041773193286
有機金属気相成長装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-020566
公開番号（公開出願番号）：特開平10-223540
出願日： 1997年02月03日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：
【要約】【課題】 有機金属原料ガスの供給に経時的変化が生じることを防止し、固体有機金属原料の残存を防止する。【解決手段】 有機金属気相成長装置において、キャリアガス供給管70と、固体有機金属原料ガス導出管71とを有する固体有機金属原料供給槽100を設け、固体有機金属原料供給槽100内に、通気性を有する固体有機金属配置室90を配置し、キャリアガス供給管70から供給されたキャリアガスを、固体有機金属配置室90内に配置された固体有機金属31中を通過させるように供給して固体有機金属原料ガス導出管71から導出させる。
請求項（抜粋）：
キャリアガス供給管と、固体有機金属原料ガス導出管とを有する固体有機金属原料供給槽が設けられ、該固体有機金属原料供給槽内に、通気性を有する固体有機金属配置室を有し、上記キャリアガス供給管から供給されたキャリアガスを、上記固体有機金属配置室内に配置された上記固体有機金属中を通過させて、固体有機金属原料ガスを得、該固体有機金属原料ガスを上記固体有機金属原料ガス導出管から導出させるようにしたことを特徴とする有機金属気相成長装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/205
, C23C 16/44 D
