特許
J-GLOBAL ID：200903041776611569
表面欠陥検査装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-220568
公開番号（公開出願番号）：特開平8-086633
出願日： 1994年09月14日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：
【要約】【目的】“ゆず肌”のような極めて薄い凹凸を欠陥と誤検出することなく、より精密な欠陥検出を行なうことの出来る表面欠陥検査装置を提供する。【構成】被検査面100に明暗パターンを映し出す照明手段101と、被検査面を撮像して明暗パターンを電気信号の画像データに変換する撮像手段102と、撮像手段によって得られた画像データを処理して明部と暗部を識別する明暗模様識別手段103と、明暗模様識別手段によって得られた明部と暗部において暗部分の領域を拡大する処理を行なう明暗領域処理手段104と、明暗パターン画像における周波数成分のうち高い周波数成分で、レベルが所定値以上の成分のみを抽出する画像強調手段105と、明暗領域処理手段における明部分と画像強調手段で抽出した成分との両方が存在する部分を欠陥として検出する欠陥検出手段106と、を備えた表面欠陥検査装置。
請求項（抜粋）：
被検査面に光を照射し、その被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、被検査面に所定の明暗パターンを映し出す照明手段と、上記被検査面を撮像して得られる受光画像を電気信号の画像データに変換する撮像手段と、上記撮像手段によって得られた画像データを処理して明部と暗部を識別する明暗模様識別手段と、上記明暗模様識別手段によって得られた暗部分の領域を拡大する処理を行なう明暗領域処理手段と、上記画像データにおける周波数成分のうち高い周波数領域で、かつレベルが所定値以上の成分のみを抽出する画像強調手段と、上記明暗領域処理手段における明部分と上記画像強調手段で抽出した成分との両方が存在する部分を欠陥として検出する欠陥検出手段と、を備えたことを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
