特許
J-GLOBAL ID:200903041783266460
円板状情報記録媒体のスピンコートに用いる被膜材料の回収方法及び装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
最上 正太郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-102536
公開番号(公開出願番号):特開平6-309702
出願日: 1993年04月28日
公開日(公表日): 1994年11月04日
要約:
【要約】【目的】 光ディスク、コンパクトディスクなどの円板状情報記録媒体の記録面に、スピンコート法により薄膜を形成する際、記録媒体の表面より振り切られ、周囲に飛散する被覆材料を、閉鎖された空間の中で、自動的に回収する方法及び装置を提供する。【構成】 所要の液剤を供給するステップと、円板状情報記録媒体(1)の周囲に該液剤による液膜(2)を形成し、これによって円板状情報記録媒体(1)の表面から飛散する被膜材料(3)を捕捉するステップと、捕捉された被膜材料を液剤と共に回収するステップと、被膜材料を液剤から分離し回収するステップと、から成ることを特徴とする。【効果】 円板状情報記録媒体の表面より飛散する被膜材料は、円板状情報記録媒体の周囲に形成された液膜に捕捉され、液剤と共に回収、分離されるから、高価な被膜材料を、人手によることなく自動的に効率よく回収、再利用できる。
請求項(抜粋):
スピンコート法により円板状情報記録媒体(1)の記録面に薄膜を形成する際、記録媒体の表面より振り切られ、周囲に飛散する被膜材料(3)を回収する方法において、所要の液剤を供給するステップと、円板状情報記録媒体(1)の周囲に該液剤による液膜(2)を形成し、これによって円板状情報記録媒体(1)の表面から飛散する被膜材料(3)を捕捉するステップと、捕捉された被膜材料を液剤と共に回収するステップと、被膜材料を液剤から分離し回収するステップと、から成ることを特徴とする上記の被膜材料の回収方法。
IPC (4件):
G11B 7/26
, G11B 5/842
, B05C 11/08
, B05C 11/10
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