特許
J-GLOBAL ID：200903041789706615
カセット内のガラス基板整列方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-081801
公開番号（公開出願番号）：特開平8-244909
出願日： 1995年03月14日
公開日（公表日）： 1996年09月24日
要約：
【要約】【目的】 カセットの各棚に載置された各ガラス基板の位置ズレを、一挙に修正して整列させ、検査台の所定の載置範囲に対応させる。【構成】 カセット2の両側に設けた、例えば2個の回動自由なローラー61a,61b を、回動機構62により回動して、各棚23に載置された各ガラス基板1の両側面に接触させ、昇降機構63により上昇して、各棚23に付着した各ガラス基板1の両端を持ち上げながら、水平方向に押圧して左右方向に整列させ、さらに、各ローラー61a,61b を回動して両側面より離間させ、下降して各ガラス基板1を各棚23に再び載置する
請求項（抜粋）：
カセットの複数段の棚に載置され、左右方向に位置ズレした複数のガラス基板を、搬送ハンドにより順次にチャックして搬送し、検査台の所定の載置範囲内に載置する搬送システムにおいて、前記カセットの両側に縦方向に配列された複数の回転自由なローラーと、該各ローラーを回動する回動機構、および上昇または下降する昇降機構とを設け、該回動機構により各ローラーを回動して、該カセットの各棚に載置された各ガラス基板の両側面に接触させ、該接触した各ローラーを該昇降機構により上昇して、前記各棚に付着した各ガラス基板の両端を持ち上げながら、水平方向に押圧して各ガラス基板を左右方向に整列させ、ついで、該各ローラーをさらに回動して該両側面より離間させ、下降して該各ガラス基板を各棚に再び載置することを特徴とする、カセット内のガラス基板整列方法。
IPC (7件)：
B65G 1/00 535
, B23P 19/00 301
, B65B 23/20
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
, H01L 21/68
, B65H 9/10
B65G 1/00 535
, B23P 19/00 301 D
, B65B 23/20
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
, H01L 21/68 G
, B65H 9/10
