特許

J-GLOBAL ID：200903041790208599

リニアモータ・ドライブ・システム

発明者： 小野 裕 ,  樋口 治雄 ,  小泉 豊
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 正康 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-224579
公開番号（公開出願番号）：特開平8-098574
出願日： 1994年09月20日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 スリット形状の誤差、光源の光量分布の不均一性及び検出信号の(n+1)次高調波成分の影響を受けにくく、検出精度が高いリニア型の光学式エンコーダをもったリニアモータ・ドライブ・システムを提供する。【構成】 リニアパルスモータの移動子の移動をリニア型の光学式エンコーダ300で検出し、その信号によりフィードバック制御するリニアモータ・ドライブ・システムにおいて、フォトダイオードをスケール板の複数列のスリットにまたがる長さとし、1個のフォトダイオードで複数列分のスリットの通過光を検出する。これによりスリット形状の誤差を平均化した検出信号を得る。光源とスケール板の間に配置された拡散板は、出射光の光量分布を均一化する。またスリット1ピッチ内のフォトダイオード数n、フォトダイオードの配列方向の幅、間隙により、検出信号に含まれる(n+1)次高調波を除去する。

請求項（抜粋）：

リニアパルスモータの移動子の移動をリニア型の光学式エンコーダで検出し、検出信号をもとに前記リニアパルスモータをフィードバック制御するリニアモータ・ドライブ・システムにおいて、前記リニア型の光学式エンコーダは、位置が固定されていて、固定子の歯の配列方向と同方向にモータの固定子の歯のピッチと同一ピッチで配列されたスリットが複数列設けられたスケール板と、リニアパルスモータの移動子と連結されていて、この移動子とともに移動する移動部材と、この移動部材に搭載されていて、前記スケール板の複数列のスリットに光を照射する光源と、前記移動部材に搭載されていて、スケール板を挟んで前記光源に対向配置され、スケール板のスリットの1ピッチ内に配列された複数のフォトダイオードからなり、各フォトダイオードはスケール板の複数列のスリットにまたがる長さになっていて、複数列のスリットを通過した光を検出するフォトダイオードアレイと、このフォトダイオードアレイの光検出信号をもとにリニアパルスモータをフィードバック制御するための帰還信号を生成する信号処理回路と、を具備したものであることを特徴とするリニアモータ・ドライブ・システム。

IPC (3件)：

H02P 5/00 101 ,  G01B 11/00 ,  G01D 5/36

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-248357
  
• 特開平4-166718
  
• 特開平3-049581