特許

J-GLOBAL ID：200903041791766889

化学的機械研磨法及びその装置

発明者： 中嶋 英晴
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-282422
公開番号（公開出願番号）：特開平10-118916
出願日： 1996年10月24日
公開日（公表日）： 1998年05月12日
要約：

【要約】【課題】 従来に比べて、研磨の面内均一性及び再現性を改善し、スラリーの消費量の少ない化学的機械研磨処理を施すことができる装置を提供する。【解決手段】 本化学的機械研磨装置は、研磨剤スラリーを供給しつつ研磨パッド18を回転させる一方、回転する基板をパッドに押圧して研磨する。本装置は、パッド上に接触しつつ長手方向軸周りに回転するロール状のドレッサー体44と、ドレッサー体に接触してそれに付着した異物及びスラリーを除去する異物除去体46とからなるドレッシング装置42を備えている。ドレッサー体は、小さい円筒面上にストライプ状のドレッサー部48及びへら部50とを備える。異物除去体は、先端縁にブラシ毛を植毛させた板状材で形成され、先端縁がドレッサー体に対してほぼ平行に近接した状態で臨むように支持され、ドレッサー体の回転によりドレッサー部及びへら部にパッドの上方で接触して、それらに付着した異物を除去する。

請求項（抜粋）：

研磨パッド上に研磨剤スラリーを供給し、研磨パッドを回転させる一方、基板を回転させつつ研磨パッドに押圧して研磨するようにした化学的機械研磨装置において、外径が研磨パッドの直径より小さい筒状体で形成され、かつ研磨パッド上に接触しつつ長手方向軸周りに回転するロール状のドレッサー体と、ドレッサー体に接触してドレッサー体に付着した異物及びスラリーを除去する異物除去体とを有するドレッシング装置を備え、ドレッサー体は、筒面から半径方向外方に突出すると共に筒面上に長手方向に延在してストライプ状に形成され、かつ研磨パッドを目立てする目立て面を有するドレッサー部と、ドレッサー部とほぼ同じ高さになるように筒面から半径方向外方に突出すると共に筒面上にドレッサー部にほぼ平行に長手方向に延在してストライプ状に形成された板状部とを備え、異物除去体は、ドレッサー体のドレッサー部及び板状部に付着した異物及びスラリーを除去する部材を備えていることを特徴とする化学的機械研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321

FI (3件)：

B24B 37/00 A ,  B24B 37/00 F ,  H01L 21/304 321 E