蒸発源

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石島茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-349646
公開番号（公開出願番号）：特開2003-147510
出願日： 2001年11月15日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】有機薄膜の成膜において膜厚が均一になる技術に関する。【解決手段】本発明の蒸発源3aは、放出板36を構成する第1、第2の支持部33a1、33a2の幅Δaは、蓋部31aの幅Δbより小さくされており、電気抵抗が蓋部31aの電気抵抗に比して大きくなっている。このため、電流が流れて発熱すると、第1、第2の支持部33a1、33a2の単位長さあたりの発熱量は、蓋部31aの単位長さあたりの発熱量に比して大きくなり、第1、第2の電流導入端子75a1、75a2を冷却しても、第1、第2の支持部33a1、33a2が蓋部31とほぼ同じ温度にすることができる。従って、第1、第2の支持部33a1、33a2や、その近傍の蓋部31aの両端部に蒸発材料の蒸気が付着しても、その部分の温度は低くならないので付着した蒸発材料は再蒸発し、蓋部31aの両端部に析出することはない。

請求項（抜粋）：

細長の開口が形成された容器と、前記容器内に配置された蒸発材料と、前記開口上に配置され、該開口を覆う蓋部と、前記蓋部に設けられ、前記容器の内部と外部とを接続する貫通孔と、前記蓋部と前記蒸発材料との間に配置された遮蔽板と、前記遮蔽板を前記蓋部に取り付ける取付部材と、前記容器の外部に配置され、電圧が印加される第1、第2の電流導入端子と、前記第1、第2の電流導入端子と前記蓋部の両端とをそれぞれ接続する第1、第2の支持部とを有し、電流の流れる方向に対する単位長さあたりの発熱量は、前記第1、第2の支持部の方が、前記蓋部に比して大きいことを特徴とする蒸発源。

IPC (3件)：

C23C 14/24 , H05B 33/10 , H05B 33/14

FI (4件)：

C23C 14/24 A , C23C 14/24 B , H05B 33/10 , H05B 33/14 A

Fターム (14件)：

3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029AA24 , 4K029BA62 , 4K029BC07 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029DA10 , 4K029DB06 , 4K029DB12 , 4K029DB14 , 4K029DB18 , 4K029DB23

引用特許：

審査官引用 (4件)

熱物理蒸着源
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-058355 出願人：イーストマンコダックカンパニー
蒸着用フィラメント
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-299835 出願人：三菱樹脂株式会社
特開昭55-091974

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