特許
J-GLOBAL ID：200903041797894196
透明導電膜
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-152753
公開番号（公開出願番号）：特開平6-338223
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：
【要約】【構成】酸化スズまたは酸化インジウムを主成分とする透明導電膜の表面にガリウムが亜鉛に対して0.5〜15原子%含有されている酸化亜鉛を主成分とした保護膜を形成したことを特徴とする透明導電膜。【効果】還元雰囲気に対して耐食性の改良された透明導電膜であり、太陽電池への応用以外にも還元性雰囲気で形成される多層膜用の基板や、還元性雰囲気下で使用されるヒーター等に応用できる。
請求項（抜粋）：
酸化スズまたは酸化インジウムを主成分とする透明導電膜の表面にガリウムを含有する酸化亜鉛を主成分とした保護膜を形成したことを特徴とする透明導電膜。
IPC (3件)：
H01B 5/14
, C03C 17/23
, C23C 14/06
