特許

J-GLOBAL ID：200903041800298168

インクジェットプリンタのヘッドにおけるアクチュエ-タの製造方法

発明者： 金 日
出願人/特許権者： 三星電機株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-370764
公開番号（公開出願番号）：特開2000-037877
出願日： 1998年12月25日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：

【要約】【課題】チャンバー板と一体に成形される振動板に耐酸化膜が形成されることで酸化物圧電体の焼結による蒸着時にも振動板の性質や形状が変わらないようにする。【解決手段】チャンバー板と振動板にアルミニウムやクロムのような耐酸化性金属が接合されるようにしたり、チャンバー板と振動板との材質を耐酸化性金属が予め含まれている材質にて構成し、酸化雰囲気での高温の熱処理工程時に、チャンバー板と振動板との表面に一定の厚さの耐酸化膜が形成されるようにし、こうした振動板に圧電体が焼結蒸着されて、上部電極が積層されるようにする。

請求項（抜粋）：

液室が形成されたチャンバー板と一体に結合して振動板を成形する段階と、一体に成形された前記チャンバー板と振動板とともに被覆しようとする金属粉末と被覆を活性化させる活性剤、そして粉末の流れ防止及び焼結を防止する焼結防止剤等を粉末形態で所定の比率に混合して炉に入れる段階と、前記炉を所定の雰囲気の条件で高温に加熱して前記チャンバー板と振動板との表面に耐酸化性金属膜を形成させる段階と、前記チャンバー板と振動板とを酸化雰囲気で熱処理して表面を酸化させて耐酸化膜を形成する段階と、前記振動板の上部面に酸化物圧電体を焼結によって蒸着させる段階と、前記酸化物圧電体の上部に上部電極を積層させる段階とを含んでなることを特徴とするインクジェットプリンタのヘッドにおけるアクチエータの製造方法。

IPC (5件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22

FI (4件)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z

Fターム (14件)：

2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AG55 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AG94 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP31 ,  2C057AP54 ,  2C057AP56 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14