露光装置及び露光方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：立石篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-025746
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223407
出願日： 1999年02月03日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】濃度ウェッジガラスを用いることなく、基板上のショット領域の位置よらず、隣接ショットとの繋ぎの部分(4隅の部分を含め)で積算露光量の急激な変化の発生を確実に防止する。【解決手段】制御装置19では、基板P上に上記2行2列のマトリクス状で隣接して配置された4つのショット領域に各隣接領域のパターンの転写像の一部同士がそれぞれ重複するように転写像を形成しながら露光を行う際に、マトリクスの行及び列の少なくとも一方向についての隣接辺に対応する可動ブラインドぞれぞれのエッジ同士がともに前記一方向に対応する方向に沿って同一方向に連続的に変位するように視野絞り装置7を制御する。この結果、隣接4ショット領域の全域で重ね合せ部分の積算露光量の急激な変化、すなわちパターン線幅の急激な変化の発生を防止することができる。

請求項（抜粋）：

マスクのパターンを基板上の複数の区画領域に転写する露光装置であって、光源と;前記光源からの照明光を前記マスクに照射する照明光学系と;前記照明光学系内の前記マスクと共役な位置に配置され、前記マスク上の平行四辺形の照明領域を自在に設定する第1方向のエッジを有する1組の可動ブラインド及び前記第1方向に交差する第2方向のエッジを有する1組の可動ブラインドを有する視野絞り装置と;前記基板上の前記第1方向及び前記第2方向にそれぞれ対応する第3方向及び第4方向をそれぞれ行方向及び列方向とする2行2列のマトリクス状で隣接して配置された少なくとも4つの区画領域に対し各隣接領域のパターンの転写像の一部同士がそれぞれ重複するように前記転写像を形成しながら露光を行うに当たり、前記第3方向及び第4方向の少なくとも一方向についての隣接辺に対応する前記可動ブラインドそれぞれのエッジ同士がともに前記一方向に対応する方向に沿って同一方向に連続的に変位するように前記視野絞り装置を制御する制御装置とを備える露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 515 D , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 514 A

Fターム (9件)：

5F046BA03 , 5F046CA02 , 5F046CA04 , 5F046CB05 , 5F046CB23 , 5F046CC02 , 5F046DA02 , 5F046DB01 , 5F046DC02

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