特許
J-GLOBAL ID：200903041816022804
荷電ビーム装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-100431
公開番号（公開出願番号）：特開平7-312192
出願日： 1994年05月16日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】加工時には、ビーム電流及びビーム径を任意の大きさに高速に且つ再現性良く変更できる矩形の開口と、試料観察時には、観察画像の鮮明度を向上させる丸穴の開口に任意に変更できる絞り機構及びそれを有する荷電ビーム装置を実現する。【構成】荷電ビーム装置のビーム電流制限機構を、任意の角度を持つV形の切欠きを有する遮蔽板9aと、V形の切欠き部のそれぞれの一辺と平行になり各辺で囲まれた矩形の開口を形成する様に配置したもう一つの任意の角度を持つV形の切欠きを有する遮蔽板9bと、該遮蔽板を矩形の中心に移動させる機構と更に該矩形の中心に丸穴の開口15cを移動させる機構で構成する。
請求項（抜粋）：
荷電粒子源と該粒子源から放出される荷電ビームを集束,偏向して試料上の任意の位置へ集束荷電ビームとして照射される荷電光学系と、該試料を保持し移動せしめる試料ステージと、該集束荷電ビームの該試料上での開角を制限するビーム電流制限絞り機構とを備えた荷電ビーム装置において、任意の角度を持つV形の切欠きを有する遮蔽板と、V形の切欠き部のそれぞれの一辺と平行になり各辺で囲まれた矩形の開口を形成する様に配置したもう一つの任意の角度を持つV形の切欠きを有する遮蔽板を備え、それぞれの辺に囲まれた矩形の中心に移動できる様に重ねてできる矩形の絞りと丸穴の開口を備え、丸穴の開口の中心を矩形の開口の中心に移動できる様に配置した丸穴の絞りを任意に選択することができるビーム電流制限絞り機構を備えたことを特徴とする荷電ビーム装置。
IPC (3件)：
H01J 37/09
, H01J 37/26
, H01J 37/30
