カンチレバー型変位素子、及びこれを用いたカンチレバー型プローブ、及びこのカンチレバー型プローブを用いた走査型トンネル顕微鏡並びに情報処理装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：豊田善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-103796
公開番号（公開出願番号）：特開平5-284765
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：

【要約】【目的】信頼性の高いカンチレバー型変位素子、及びカンチレバー型プローブ、さらには、これらを用いた走査型トンネル顕微鏡並びに情報処理装置を提供する。【構成】非導電体層からなるカンチレバーの支持体の上下面に、左右に分割された発熱体層を設け、熱駆動を行うカンチレバー型変位素子は、カンチレバーの反りや、特性の変化が少なく、機械的強度や耐久性を高めることができ、これを用いたカンチレバー型プローブは信頼性の高い検出素子となる。また、上記カンチレバー型プローブを用いた走査型トンネル顕微鏡、情報処理装置は、高速処理が可能で、かつ信頼性の高い装置となる。

請求項（抜粋）：

基板上に片持ち梁状に形成された変位素子において、該変位素子は、少なくとも1つの非導電体層と複数の発熱体層からなり、該発熱体層の熱駆動により変位することを特徴とするカンチレバー型変位素子。

IPC (3件)：

H02N 10/00 , G11B 9/00 , H01L 29/84

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平4-095804
特開昭61-206148
特開平1-271671

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