特許

J-GLOBAL ID：200903041826766860

垂直作動式プローブカード

発明者： 大久保 昌男 ,  大久保 和正 ,  古崎 新一郎 ,  岩田 浩
出願人/特許権者： 日本電子材料株式会社
代理人 (1件)： 大西 孝治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-195892
公開番号（公開出願番号）：特開平9-021828
出願日： 1995年07月06日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【目的】 各プローブ間での微調整を可能とし、プローブ間の間隔を小さくしても短絡が生じないようにする。【構成】 測定対象物であるLSIチップ710の電極パッド711に対してプローブ100が垂直に配置された垂直作動式プローブカードであって、複数のプローブ100が垂直に取り付けられる基板200と、基板200の下面に取り付けられるスペーサ300と、スペーサ300に取り付けられて基板200に対して平行に配置された絶縁性を有する針先案内部材400と、針先案内部材400と基板200との間に両者に対して平行に配置された絶縁性を有する調整部材500とを備えており、針先案内部材400にはプローブ100の先端が貫通する貫通孔411、421が、調整部材500にはプローブ100が貫通する調整用貫通孔5100がそれぞれ開設されている。

請求項（抜粋）：

測定対象物の電極パッドに対してプローブが垂直に配置された垂直作動式プローブカードにおいて、複数のプローブが垂直に取り付けられる基板と、この基板の下面に取り付けられるスペーサと、このスペーサに取り付けられて前記基板に対して平行に配置された絶縁性を有する針先案内部材と、この針先案内部材と前記基板との間に両者に対して平行に配置された絶縁性を有する調整部材とを具備しており、前記針先案内部材にはプローブの先端が貫通する貫通孔が、前記調整部材にはプローブが貫通する調整用貫通孔がそれぞれ開設されていることを特徴とする垂直作動式プローブカード。

IPC (3件)：

G01R 1/06 ,  G01R 1/073 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/06 D ,  G01R 1/073 E ,  H01L 21/66 B