特許

J-GLOBAL ID：200903041827493060

測定装置およびこれを用いた測定方法

発明者： 鬼鞍 宏猷 ,  宮原 洋
出願人/特許権者： 株式会社産学連携機構九州
代理人 (1件)： 加藤 久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-211181
公開番号（公開出願番号）：特開2004-053413
出願日： 2002年07月19日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：

【課題】被測定物を貫通していない極めて微小な止まり穴であっても、高精度にその微小穴の内側部分の直径、溝の幅、真円度や表面粗さ等を測定することが可能な測定装置およびこれを用いた測定方法を提供する。【解決手段】先端部に被測定物1の被測定穴1aの内壁面1bに接触させるスタイラス8a,8bを設けた棒状のマイクロプローブ2と、マイクロプローブ2の胴体表面に直接設けた歪みゲージ8a,8bと、歪みゲージ8a,8bの電気抵抗値の変化を検出する歪みアンプと、歪みアンプの検出結果に基づいて各種演算を行うコンピュータ5とを備える。【選択図】 図7

請求項（抜粋）：

先端部に被測定物の被測定穴の内壁面に接触させる接触子を設けた棒状のプローブと、同プローブの胴体表面に直接設けた歪みゲージと、同歪みゲージの電気抵抗値の変化を検出する検出手段とを備えた測定装置。

IPC (2件)：

G01B7/34 ,  G01B7/13

FI (3件)：

G01B7/34 101B ,  G01B7/34 102Z ,  G01B7/12 B

Fターム (15件)：

2F063AA20 ,  2F063AA43 ,  2F063AA46 ,  2F063DA02 ,  2F063DA05 ,  2F063DD03 ,  2F063EB01 ,  2F063EC03 ,  2F063JA04 ,  2F063KA01 ,  2F063KA04 ,  2F063KA05 ,  2F063LA11 ,  2F063LA27 ,  2F063LA29