特許

J-GLOBAL ID：200903041839353603

集積回路誘電体及び方法

発明者： ウェイ ウィリアム リー ,  リチャード エス.リスト ,  チャングミング ジン ,  ケリー ジェイ.タイラー ,  ジオング - ピング ルー ,  ステファン ダブリュ.ラッセル ,  ロバート エイチ.ハーブマン
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-147773
公開番号（公開出願番号）：特開平11-003888
出願日： 1998年05月28日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：

【要約】【課題】 シリカキセロゲル誘電体を提供する。【解決手段】 (a) 多孔性誘電体の第一層と、(b) 前記多孔性誘電体上の第二の誘電体層とを含んで成り、(c) 第二誘電体層は、前記多孔性誘電体層の表面の開放細孔の容積の少なくとも50%を満たすことを特徴とする、誘電体構造体。

請求項（抜粋）：

(a) 多孔性誘電体の第一層と、(b) 前記多孔性誘電体上の第二の誘電体層とを含んで成り、(c) 第二誘電体層が、前記多孔性誘電体層の表面の開放細孔の容積の少なくとも50%を満たすことを特徴とする、誘電体構造体。

IPC (3件)：

H01L 21/316 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/768

FI (3件)：

H01L 21/316 M ,  H01L 21/28 M ,  H01L 21/90 K