特許

J-GLOBAL ID：200903041844668370

ダイシング装置

発明者： 田中 知行 ,  土島 次郎
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 宇井 正一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-008472
公開番号（公開出願番号）：特開平6-224297
出願日： 1993年01月21日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】 本発明はダイシング装置に関し、切削部分に供給される切削液が砥石刃で飛散されて装置や周囲を汚すのを防止すると共に、切削部分で汚れた切削液が再び切削部分に供給されるのを防止できるようにしたダイシング装置の実現を目的とする。【構成】 砥石刃1を高速回転して薄溝加工を行い、切削部分に切削液を供給するために砥石刃1に略平行に設けられた切削液供給パイプを備えるダイシング装置において、切削液供給パイプは、切削部分に対して回転方向における前側から切削部分に延びるように構成する。更に、切削部分に対して回転方向の後側に、砥石刃1の直径以下の幅で、水平又は砥石刃1側が低くなるような傾きの切削液飛散防止用制流板4を備えるように構成する。

請求項（抜粋）：

砥石刃(1)を高速回転して薄溝加工を行うダイシング装置であって、切削部分に切削液を供給するために前記砥石刃(1)に略平行に設けられた切削液供給パイプ(3)を備えるダイシング装置において、前記切削液供給パイプ(3)は、切削部分に対して回転方向における前側から切削部分に延びることを特徴とするダイシング装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-030314
  
• 特開昭63-209806