特許

J-GLOBAL ID：200903041847308110

電子ビーム装置

発明者： ハラルド ローゼ ,  ラルフ デーゲンハルト ,  カレル ディエデリック ファン デア マスト
出願人/特許権者： エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン
代理人 (1件)： 沢田 雅男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-309612
公開番号（公開出願番号）：特開平5-314938
出願日： 1992年10月23日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：

【要約】【目的】 従来の電子ビーム装置に存在した制限を、結像における付加的な電子光学収差無しで避け、さらに外的影響に対するやっかいな感度を減少する。そして透過型電子顕微鏡を通常範囲内の高電圧で使用できるエネルギ選択装置を提供する。【構成】 電子ビーム装置には、結像と共にエネルギ選択計測を可能にするエネルギ選択装置が設けられる。エネルギ選択装置は、電子ビーム装置の光軸の外側の面に主電子軌跡を持ち、装置の付加的な長さが現実的な範囲にとどめられる。従って、エネルギ選択装置は、選択的なスリットを導入できる場所の中央対称面で最大値を持つような二重対称を導入する。完全な対称は、フィルタにおける光学収差の完全な補償を容易にする。第2対称面に四重極を付加すると、フィルタの外側のスペクトルの結像が可能になる。

請求項（抜粋）：

電子源と、当該装置の光軸の周辺に配置された電子光学系と、分光測定のためのエネルギ選択装置とが配置された電子ビーム装置において、前記エネルギ選択装置の電子ビーム経路が、当該装置の光軸を含まない面内に配置されたことを特徴とする電子ビーム装置。

IPC (2件)：

H01J 37/05 ,  H01J 37/26

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭61-013541
  
• 特開昭61-013541
  
• 特開昭62-066553
  
• 特開昭62-066553