特許

J-GLOBAL ID：200903041847757764

四弗化ケイ素ガスの精製方法

発明者： 原 田 功 ,  在 塚 眞 ,  三 本 敦 久
出願人/特許権者： 三井東圧化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-240864
公開番号（公開出願番号）：特開平5-078117
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：

【要約】【目的】 四弗化ケイ素 ガス中の不純物を吸収除去する際、使用する活性アルミナ充填塔内の伝熱を良くする。【構成】 四弗化ケイ素ガス中に含まれる二酸化炭素を除去するに際し、活性アルミナの脱水、再生及び通気する際に、該活性アルミナ層内に金属板を挿入することを特徴とする四弗化ケイ素ガスの精製方法。【効果】 安定した活性効果が得られる。また、通気中の吸着熱を除去する効果がある。

請求項（抜粋）：

四弗化ケイ素ガス中に含まれる二酸化炭素を除去するに際し、活性アルミナの脱水、再生及び通気する際に、該活性アルミナ層内に金属板を挿入することを特徴とする四弗化ケイ素ガスの精製方法。