特許

J-GLOBAL ID：200903041851152338

被検査基板のアライメント方法

発明者： 平井 幸廣 ,  山口 憲栄
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (1件)： 鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-318498
公開番号（公開出願番号）：特開平9-138256
出願日： 1995年11月14日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】【目的】 搬送用のロボットアームに被検査基板を載せた状態でプリアライメントを実施して、プリアライメント領域から測定部に被検査基板を移す際に液晶基板の位置ずれを生じにくくする。また、プリアライメントのためのXYθステージを不要にする。【構成】 カセット48内の液晶基板50をロボットアーム58に載せて、プリアライメント領域44に移送する。ロボットアーム58をY軸方向に移動して、二つのY位置センサ66、68を用いて液晶基板50のX辺74のX軸に対する傾斜角αを求める。液晶基板50を4本のチャックピン64に載せかえて、回転台56を時計方向に角度αだけ回転し、ロボットアーム58で再び液晶基板50を吸着して、回転台56を反時計方向に角度αだけ戻す。液晶基板50のY方向の位置を定めてから、ロボット本体54をレール60に沿ってX軸方向に移動して、液晶基板50のY辺76がX位置センサ70で検出されるようにする。これでプリアライメントが完了する。

請求項（抜粋）：

矩形の被検査基板をプローブ装置に対してアライメントする方法において、次の各段階を備えるアライメント方法。(イ)直交するX軸及びY軸に平行に移動できて、かつ、XY平面に垂直なZ軸の回りに回転できるロボットアームと、プリアライメント領域において矩形の被検査基板が正しく位置したときに被検査基板の一辺(以下「X辺」という。)を検出できる第1及び第2のY位置センサと被検査基板の前記一辺に垂直な他辺(以下「Y辺」という。)を検出できるX位置センサとを準備して、前記二つのY位置センサを互いにX軸に平行に所定距離Dだけ離して配置する段階。(ロ)前記ロボットアームによって被検査基板を前記プリアライメント領域に移送する段階。(ハ)前記ロボットアームで被検査基板を保持した状態で前記ロボットアームをY軸に平行に移動して、被検査基板のX辺が前記第1のY位置センサで検出されるときの前記ロボットアームの座標Yaを得る段階。(ニ)前記ロボットアームをY軸に平行に移動して、被検査基板のX辺が前記第2のY位置センサで検出されるときの前記ロボットアームの座標Ybを得る段階。(ホ)前記座標YaとYbの差ΔYと前記所定距離Dとに基づいて、被検査基板のX辺とX軸との間の傾斜角を演算する段階。(ヘ)前記プリアライメント領域に配置された支持装置上に前記ロボットアームから被検査基板を載せかえる段階。(ト)前記ロボットアームを前記傾斜角と同じ方向に同じ角度だけZ軸の回りに回転する段階。(チ)前記支持装置上の被検査基板を前記ロボットアームで再び保持する段階。(リ)前記ロボットアームを前記傾斜角と反対の方向に同じ角度だけZ軸の回りに回転する段階。(ヌ)前記(ハ)と(ニ)の段階を実行して座標YaとYbを得て、YaとYbの差ΔYが許容範囲内にあることを確認する段階。(ル)前記ロボットアームをX軸に平行に移動して、被検査基板のY辺が前記X位置センサで検出されるようにして、プリアライメントを完了する段階。(ヲ)前記ロボットアームにより被検査基板を測定ステージに載せかえる段階。(ワ)被検査基板を載せた前記測定ステージをプローブ装置のところまで移動してから、プローブ装置と被検査基板との間でファインアライメントを実行する段階。

IPC (6件)：

G01R 31/00 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/66

FI (6件)：

G01R 31/00 ,  G01R 31/26 J ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/68 F ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 J