特許
J-GLOBAL ID：200903041851593229
位置だし制御法および面合わせ方法およびそれを用いたトンネル顕微鏡および記録再生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-346303
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194157
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 STMあるいは、AFMに用いるカンチレバー型圧電素子を用いて、容易にサンプル表面とカンチレバー型圧電素子との距離を計測する。【構成】 カンチレバーの長手方向に直交する面での変位を変化させるためのすくなくとも1層の圧電体層と、該圧電層に電圧を印加するための電極とを具備するカンチレバー型圧電素子を用いた位置だし制御方法であって、カンチレバーをその固有振動数で変位させ、圧電素子のアドミッタンス変化により、サンプル表面との距離を計測する。
請求項（抜粋）：
カンチレバーの長手方向に直交する面での変位を変化させるためのすくなくとも1層の圧電体層と、該圧電層に電圧を印加するための電極とを具備するカンチレバー型圧電素子を用いた位置だし制御方法であって、カンチレバーをその固有振動数で変位させ、圧電素子のアドミッタンス変化により、サンプル表面との距離を計測することを特徴とする位置だし制御方法。
IPC (4件)：
G01B 21/30
, G05D 3/00
, G11B 9/00
, H01L 41/09
