特許

J-GLOBAL ID：200903041853991523

波面検出装置

発明者： 土肥 正明 ,  岡本 和也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-232977
公開番号（公開出願番号）：特開2000-065646
出願日： 1998年08月19日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】簡単な構成で波面の計測を行うことのできる波面検出装置を提供する。【解決手段】基板21と、基板21上に形成された複数のダブルモード導波路2と、ダブルモード導波路2の出射端の光の非対称性を検出するための検出手段101、3、4、5、6、7とを有する。複数のダブルモード導波路2の入射端は、基板21の一つの側面21aに配置されている。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に形成された複数のダブルモード導波路と、前記ダブルモード導波路の出射端の光の非対称性を検出するための検出手段とを有し、前記複数のダブルモード導波路の入射端は、前記基板の一つの側面上に配列されていることを特徴とする波面検出装置。

IPC (3件)：

G01J 9/00 ,  G02B 6/00 ,  G02B 21/00

FI (3件)：

G01J 9/00 ,  G02B 21/00 ,  G02B 6/00 B

Fターム (4件)：

2H038AA02 ,  2H052AB24 ,  2H052AC34 ,  2H052AF02