特許
J-GLOBAL ID：200903041864665229
撮像装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-342906
公開番号（公開出願番号）：特開平7-170456
出願日： 1993年12月15日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 光線照射による物体像を、簡単な構成で、高分解能にて低雑音で安定に検出する。【構成】 光線照射された撮像板を走査して、試料像を撮影する撮像装置において、半導体基板と、前記半導体基板表面に形成した絶縁膜と、前記絶縁膜上に配列した複数の微小電極と、を含む前記撮像板101と、前記絶縁膜或いは前記微小電極に、対向して配置される導電性探針103と、前記探針を前記絶縁膜および前記微小電極に対して相対的に走査させる走査手段111、123と、前記探針と前記半導体基板との間に所定の電圧を印加する電圧印加手段131と、前記探針と前記半導体基板との間に流れる電流を検出する電流検出手段132とを備える。
請求項（抜粋）：
試料を透過した或いは該試料から反射した光線が照射された撮像板を走査して、試料像を撮影する撮像装置であって、半導体基板と、前記半導体基板表面に形成した絶縁膜と、前記絶縁膜上に配列した複数の微小電極と、を含む前記撮像板と、前記絶縁膜或いは前記微小電極に、対向して配置される導電性探針と、前記探針を前記絶縁膜および前記微小電極に対して相対的に走査させる走査手段と、前記探針と前記半導体基板との間に所定の電圧を印加する電圧印加手段と、前記探針と前記半導体基板との間に流れる電流を検出する電流検出手段と、を具備することを特徴とする撮像装置。
IPC (4件)：
H04N 5/32
, G01N 23/04
, G01T 1/00
, H01L 27/14
