特許

J-GLOBAL ID：200903041872475579

静電マイクロリレー

発明者： 高橋 政次
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-125546
公開番号（公開出願番号）：特開平10-312734
出願日： 1997年05月15日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：

【要約】【課題】 静電マイクロリレーにおいて、圧電駆動の併用を不要とし、動作電圧の増大や接点接触力の減少を防止する。【解決手段】 固定電極11を曲面形状に保型することによって、可動電極5と固定電極11の間に完全な楔状空隙14を確保し、可動子2の運動開始時に可動電極5と固定電極11の間に大きな静電吸引力を得る。このため、圧電駆動を併用する必要がなくなる。

請求項（抜粋）：

可動子基板と、固定子基板とを有する静電マイクロリレーであって、前記可動子基板は可動電極と可動接点とを備え、前記固定子基板は固定電極と固定接点とを備え、可動電極と固定電極との間に発生する静電引力によって可動接点を固定接点に接触させるものであり前記可動子基板の可動電極は、平面形状に成形されたものであり、前記固定子基板の固定電極は、前記平面形状の可動電極の先端に向かって次第に該可動電極から離れるような凸状の曲面形状に成形されたものであることを特徴とする静電マイクロリレー。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• マイクロリレー、その製造方法およびその制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-313444   出願人：オムロン株式会社
• 静電駆動型リレー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-010607   出願人：松下電工株式会社, ジャッキーレヴィナー, ディディエールペリノ
• ハイブリッド駆動装置を備えたマイクロメカニカルなリレー
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平6-518543   出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシャフト
• 特開平4-133225