特許

J-GLOBAL ID：200903041875110750

面位置検出装置、露光装置

発明者： 川口 透 ,  長山 匡
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-393832
公開番号（公開出願番号）：特開2002-196222
出願日： 2000年12月25日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
要約：

【要約】【課題】 簡略な光学系を実現しつつ、広範囲の検出領域全面に対して良好な結像性能を確保し、高い検出精度を有する面位置検出装置及びこの面位置検出装置を備えた露光装置を提供することを目的とする。【解決手段】 被検面Waの面位置を検出する面位置検出装置100は、検出用光源6からの検出光に基づいて、被検面Wa上の複数の検出点に対して傾斜方向から光束を投射する投射系1と、被検面Waを介した光束に基づいて、複数の検出点の像を形成する集光系2と、複数の検出点の像を光電的に検出する検出器17と、検出用光源6と検出器17との間の光路上に配置されて、複数のレンズを2次元状に集積したレンズアレイAR1〜AR4とを備え、検出器17の出力に基づいて、被検面Waの面位置を検出する。

請求項（抜粋）：

被検面の面位置を検出する面位置検出装置において、検出用光源からの検出光に基づいて、前記被検面上の複数の検出点に対して傾斜方向から光束を投射する投射系と、前記被検面を介した光束に基づいて、前記複数の検出点の像を形成する集光系と、前記複数の検出点の像を光電的に検出する検出器と、前記検出用光源と前記検出器との間の光路中に配置されて、複数の光学素子を2次元状に集積した光学素子アレイとを備え、前記検出器の出力に基づいて、前記被検面の面位置を検出することを特徴とする面位置検出装置。

IPC (5件)：

G02B 7/28 ,  G01B 11/00 ,  G02B 7/32 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G01B 11/00 B ,  G03F 7/20 521 ,  G02B 7/11 M ,  G02B 7/11 B ,  H01L 21/30 526 B

Fターム (33件)：

2F065AA06 ,  2F065CC20 ,  2F065DD10 ,  2F065FF44 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065GG18 ,  2F065HH08 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL13 ,  2F065PP12 ,  2F065UU01 ,  2F065UU02 ,  2F065UU07 ,  2H051AA10 ,  2H051BB27 ,  2H051CB02 ,  2H051CB04 ,  2H051CB09 ,  2H051CB11 ,  2H051CB14 ,  2H051CB21 ,  2H051CB29 ,  2H051CC04 ,  2H051DA08 ,  2H051DA16 ,  5F046BA04 ,  5F046DA14 ,  5F046FA10 ,  5F046FB12 ,  5F046FB17