特許

J-GLOBAL ID：200903041879878652

高い熱伝導率を示すように窒化アルミニウムの焼結を行う改良方法およびその結果として生じる焼結体

発明者： ギトン,テレサ・エイ ,  ミルズ,リン・ケイ
出願人/特許権者： ザ・ダウ・ケミカル・カンパニー
代理人 (1件)： 小田島 平吉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-522050
公開番号（公開出願番号）：特表平8-508461
出願日： 1994年02月15日
公開日（公表日）： 1996年09月10日
要約：

【要約】非還元性条件下で焼結を行い、そして相互関係を示すパラメーター、例えば結合剤を焼失させる雰囲気、加熱速度、焼結温度、焼結温度における時間、冷却速度および冷却温度などを調節することによって、少なくとも200W/m・KのTCを示す窒化アルミニウム焼結体を製造する。この焼結体はまた270W/m・Kを越えるTCを示し得る。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウム粉末と粉末化した少なくとも1種の焼結助剤との混和物を窒素ガスの存在下で焼結温度にまで加熱し、この混和物を焼結体に変化させるに充分な時間この混和物を上記温度に保持した後、この素地を周囲温度にまで冷却することによって、200ワット/メートル・°K以上の熱伝導率を示す多結晶性窒化アルミニウム焼結体を製造する改良方法において、1分当たり0°Cよりも高い速度から1分当たり6°Cの速度でその焼結温度にまで加熱し、該混和物を理論密度の95%を越える密度を示す焼結体に変化させるに充分な時間その温度を維持し、そしてこの焼結体を、真空下か或は不活性ガスの存在下、0°C/分よりも高い速度から6°C/分の速度でその焼結温度から1400°Cの温度にまで冷却した後、この焼結体を更に周囲温度にまで冷却することの組み合わせを用いることを特徴とする方法。