特許

J-GLOBAL ID：200903041883330181

力測定装置

発明者： ミシェル・アライン・シュヴロウレ ,  テッド・スミス
出願人/特許権者： セー エス ウー エム・サントル・スイス・デレクトロニク・エ・ドゥ・ミクロテクニク・エス アー・ルシェルシュ・エ・デヴェロプマン
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-269456
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265417
出願日： 1993年10月04日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】 力信号に応答する高精度測定装置を実現すること。【構成】 力を、特に加速度に対応した慣性力を測定する装置は、2つのコンデンサを有する容量性検出器を有しており、それらのコンデンサの静電容量の違いは測定された力の関数である。測定装置はさらに、2つの静電容量の値の比較によって決定された出力信号を発生することができる電子回路を有している。この信号は、変調パルス密度のデジタル信号として発生する。

請求項（抜粋）：

力、特に加速度に対応した慣性力を測定する装置であって、2つのコンデンサ(C1、C2)を備えており、弾性的に支持された質量体(2)が前記コンデンサ(C1、C2)の少なくとも一方の移動する極板を形成して、前記移動質量体(2)が前記力を受けることによって前記コンデンサ(C1、C2)の少なくとも一方の静電容量が変化するようにした容量性検出器(1)と、前記質量体の変位に応じて、前記力の値を表す出力信号として利用される信号(24)を発生する回路を有している順方向回路手段(5、6、7)と、前記出力信号をスイッチ装置を介して前記コンデンサ(C1、C2)の少なくとも一方へ送って静電フィードバック力を発生するフィードバック回路手段とを有しており、前記順方向回路手段は、パルス密度が前記力の関数として変調するデジタル形式で前記信号を発生する手段(7、17)を有していることを特徴とする装置。

IPC (2件)：

G01L 1/14 ,  G01P 15/125