特許

J-GLOBAL ID：200903041890671156

画像取込み装置

発明者： 神津 尚士
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-078283
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275183
出願日： 1999年03月23日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】本発明は、検査スペースの縮小および検査時間の短縮を可能にし、装置コストの低廉化をも可能にした画像取込み装置を提供する。【解決手段】被検査基板2を載置したステージ1を一方向に移動するとともに、このステージ1の移動方向と直交する方向のライン照明をライン照明ユニット3により被検査基板2上に照射させ、このライン照明された被検査基板2からの反射光をミクロ検査カメラ5およびマクロ検査カメラ7に同時に取込み可能にしている。

請求項（抜粋）：

被検体を載置するとともに、一方向に移動可能に設けられたステージと、このステージの移動方向と直交する方向のライン照明を前記被検体上に照射させるライン照明手段と、前記ライン照明手段のライン照明の前記被検体上からの反射光を同時に取込み可能にしたミクロ撮像手段およびマクロ撮像手段とを具備したことを特徴とする画像取込み装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30

FI (2件)：

G01N 21/88 650 ,  G01B 11/30 A

Fターム (20件)：

2F065AA49 ,  2F065CC21 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG16 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL12 ,  2F065QQ31 ,  2G051AB02 ,  2G051BA20 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CC11 ,  2G051DA06 ,  2G051EA11