固体撮像装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：高橋敬四郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287334
公開番号（公開出願番号）：特開2001-111026
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】従来のIT-CCDにおいては、画素密度の向上に伴って、水平転送CCDにおける転送電極の形成に高度な微細加工技術が要求されるようになると共に、水平転送CCDに駆動パルスを供給するために使用されるパルス供給用端子の負荷静電容量が増加して、水平転送CCDの消費電力が増大する。【解決手段】複数列、複数行に亘って配置された多数個の光電変換素子と、これらの光電変換素子に蓄積された信号電荷を水平転送CCDに転送するための複数本の垂直転送CCDと、光電変換素子の各々に蓄積された信号電荷の前記垂直転送CCDへの読み出しを光電変換素子毎に制御するための読み出しゲート領域とを備えたIT-CCDを作製するにあたり、前記複数本の垂直転送CCDの2本に1本ずつ、これらの2本の垂直転送CCDを合流させる加算チャネルを形成する。

請求項（抜粋）：

半導体基板の表面に設定された感光部内に複数行、複数列に亘って形成された多数個の光電変換素子と、光電変換素子列の1列毎に該光電変換素子列に近接して前記半導体基板の表面に形成され、各々が前記感光部を一定の方向に平面視上横切る複数本の電荷転送チャネルと、前記感光部上に形成された複数本の転送電極であって、各々が前記複数本の電荷転送チャネルの数と同じ数の複数個の転送路形成部を有し、該複数個の転送路形成部の各々が、それぞれ別個の電荷転送チャネルと平面視上交差するとともに、該平面視上の交差部の各々において前記電荷転送チャネルと共に1つの電荷転送段を構成する複数本の転送電極と、前記電荷転送チャネルの複数本に1本ずつ前記半導体基板の表面に形成され、各々が、相隣る複数本の電荷転送チャネルを前記感光部の外側の領域において合流させる複数本の加算チャネルと、前記半導体基板の表面における前記感光部の外側の領域上に形成された加算チャネル用転送電極であって、前記複数本の加算チャネルの各々と平面視上交差し、前記複数本の加算チャネルとの平面視上の交差部の各々において、前記加算チャネルと共に1つの加算用電荷転送段を構成する加算チャネル用転送電極とを具備した固体撮像装置。

IPC (2件)：

H01L 27/148 , H04N 5/335

FI (3件)：

H04N 5/335 F , H04N 5/335 U , H01L 27/14 B

Fターム (38件)：

4M118AA01 , 4M118AA02 , 4M118AA04 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA13 , 4M118CA03 , 4M118CA20 , 4M118DA03 , 4M118DA12 , 4M118DA15 , 4M118DA18 , 4M118DB01 , 4M118DB03 , 4M118DB06 , 4M118DB07 , 4M118DB08 , 4M118FA03 , 4M118FA06 , 4M118FA13 , 4M118FA26 , 4M118FA33 , 4M118GB11 , 4M118GB17 , 4M118GC08 , 4M118GC09 , 4M118GD04 , 5C024AA01 , 5C024BA01 , 5C024CA00 , 5C024CA11 , 5C024FA01 , 5C024GA13 , 5C024GA14 , 5C024GA16 , 5C024GA31 , 5C024JA11 , 5C024JA23

引用特許：

審査官引用 (16件)

固体撮像装置及びその駆動方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-161810 出願人：ソニー株式会社
特開昭59-172888
特開昭59-172888

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