共焦点走査顕微鏡の走査装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-308539
公開番号（公開出願番号）：特開平9-127420
出願日： 1995年11月02日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】 Nipkow diskによる共焦点走査型の共焦点走査顕微鏡は光量が十分でない、Nipkow diskからの反射光が完全に除去できないという課題があった。【解決手段】課題解決のために、集光レンズが複数個配列された集光レンズ配列面と個々の集光レンズと光学的に同軸に配列されたピンホールを持つピンホール配列面とを有する光路分岐光学素子と、この光路分岐光学素子により集光レンズの光軸に垂直な方向に分岐された光路に挿入されピンホール配列面の像を結像する結像レンズと、この結像レンズの結像光束をピンホール配列面に垂直な方向に偏向する偏向光学素子と、集光レンズ配列面とピンホール配列面と光路分岐光学系と結像レンズと偏向光学素子とが固定されモーターにより回転する回転体とより共焦点走査顕微鏡の走査装置を構成する。

請求項（抜粋）：

共焦点画像を得るために内部に2次元的な走査装置を有する共焦点走査顕微鏡において、集光レンズが複数個配列された集光レンズ配列面と、この配列された個々の集光レンズと光学的に同軸に配列されたピンホールを持つピンホール配列面と、前記集光レンズ配列面と前記ピンホール配列面との間に位置し、前記集光レンズの光軸方向と前記集光レンズの光軸に垂直な方向とに光路を分岐する光路分岐光学素子と、前記光路分岐光学素子により前記集光レンズの光軸に垂直な方向に分岐された光路に挿入され前記ピンホール配列面の像を結像する結像レンズと、前記結像レンズの結像光束を前記ピンホール配列面に垂直な方向に偏向する偏向光学素子と、前記集光レンズ配列面と前記ピンホール配列面と前記光路分岐光学系と前記結像レンズと前記偏向光学素子とが固定されモーターにより回転する回転体とより構成されることを特徴とする共焦点走査顕微鏡の走査装置。

IPC (3件)：

G02B 21/00 , G02B 27/18 , G02B 27/28

FI (3件)：

G02B 21/00 , G02B 27/18 A , G02B 27/28 Z

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