特許
J-GLOBAL ID：200903041909722199
透光性物質の不均一性検査方法及びその装置、並びに透明基板
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿仁屋 節雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-361113
公開番号（公開出願番号）：特開平11-190700
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：
【要約】【課題】 透光性物質への照射光を有効に透光性物質内に導入でき、透光性物質に存在する微細な不均一性(欠陥)を高精度・高速度に検出できる。【解決手段】 レーザー2から出射されたレーザー光を、ミラー3、4で反射して透明基板1の一辺の導入面6へと照射する。このレーザー光を、集光レンズ8で導入面6の幅方向に集光して楕円状断面のレーザー光に縮小する。導入面6は、その幅方向に円弧状に湾曲した断面形状を有し、導入面6の幅方向に集束されて入射したレーザー光は、楕円状断面の平行光のレーザー光とされて透明基板1内に入射する。透明基板1内に入射した平行なレーザー光は、透明基板1表面で全反射を繰り返しながら伝播し、基板1内に閉じ込められた状態となる。基板1に傷などの不均一部分があると、基板1表面で全反射されずに外部に光が漏れ出し、この漏出光をCCD10で検出する。
請求項（抜粋）：
鏡面仕上げされた表面を有する透光性物質に、この透光性物質の光路が光学的に均一の場合には前記表面で全反射を繰り返して伝播するように透光性物質内に光を導入し、透光性物質内に導入され伝播する光の光路中に不均一部分が存在するときに前記表面から光が漏出することから透光性物質の不均一性を検査する方法であって、前記透光性物質に光を導入するための導入面に対し、導入面の大きさに対応させて導入光を集光して縮小すると共に、前記導入面より透光性物質内に導入される光がほぼ平行光となるように前記導入面を凹断面状に形成したことを特徴とする透光性物質の不均一性検査方法。
引用特許：
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