特許
J-GLOBAL ID：200903041917940600
試料台およびこれを用いた装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-260010
公開番号（公開出願番号）：特開平8-124507
出願日： 1994年10月25日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】光線や荷電粒子線の試料への照射角度を正確に求めることができる試料台およびそれを用いた装置を提供する。【構成】試料台12に例えば三次元的に配置したピン14,15,16とこれを固定する板17からなる角度検出の治具を装着し、治具の影や治具の像の映った二次元の投影像を画像処理し、像に映った治具間の距離、あるいは治具の大きさ、あるいは治具の形状を求め、試料18の傾斜角度や回転角度を求める。【効果】光線や荷電粒子線の進行方向を基準にした高精度な試料台の角度測定ができ、高精度な試料台の位置制御および姿勢制御が可能になり、試料の測定精度や加工精度が向上する。
請求項（抜粋）：
光源あるいは荷電粒子源から放射された光線あるいは荷電粒子線を試料に照射し、前記試料を透過した光線あるいは前記荷電粒子線、あるいは前記試料から励起されて発生する粒子線、あるいは前記試料からの反射光あるいは反射荷電粒子を用いて、前記試料に関する情報を得て、前記試料を観察あるいは分析あるいは測定を行う装置、または、前記光線あるいは前記荷電粒子線を前記試料に照射して前記試料に加工を施す装置の、前記試料を保持して移動させる機能を有する試料台が、前記試料への前記光線あるいは前記荷電粒子線の照射角を変化させることのできる傾斜機能あるいは回転機能を有し、かつ前記試料の前記荷電粒子線に対する傾斜角度あるいは回転角度を求めるための治具を具備していることを特徴とする試料台。
IPC (2件)：
H01J 37/20
, H01J 37/22 501
