特許

J-GLOBAL ID：200903041922643087

コイル部材

発明者： 中村 潤二 ,  小野 五千郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-367163
公開番号（公開出願番号）：特開2004-200406
出願日： 2002年12月18日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：

【課題】コイル部の断面積欠損率が低く高性能で、製造コストが低いコイル部材を提供することである。【解決手段】本発明のコイル部材は、基板1面上に所望のパターンで延伸するコイル部を具え、前記コイル部は電鋳法で前記基板面上に形成された層から構成され、前記パターンのコーナ部分20は内角が90度以上180度未満で、円弧状とされており、前記コーナ部分に於ける前記コイル部の断面積欠損率が25%未満であることを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板面上に所望のパターンで延伸するコイル部を具えるコイル部材であって、前記コイル部は、電鋳法で前記基板面上に形成された膜から構成され、前記パターンはコーナ部分を具え、前記コーナ部分に於ける前記コイル部の断面積欠損率が25%未満であることを特徴とするコイル部材。

IPC (3件)：

H01F5/00 ,  H01F17/00 ,  H01F41/04

FI (4件)：

H01F5/00 F ,  H01F5/00 M ,  H01F17/00 A ,  H01F41/04 C

Fターム (5件)：

5E062DD01 ,  5E070AA01 ,  5E070AB02 ,  5E070CB03 ,  5E070CB12