特許
J-GLOBAL ID：200903041929649374
マスフローコントローラ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-088228
公開番号（公開出願番号）：特開平7-295653
出願日： 1994年04月26日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】 周囲温度の影響を受けずに精度良く流量制御を行うことができる。【構成】 ブリッジ回路の出力から流量データを得て主ガス流路を流れる測定ガスの流量を制御するマスフローコントローラにおいて、ブリッジ回路に定電流を供給する定電流回路と、周囲温度の変化にともなって変動するブリッジ回路の電圧を検出し、温度温度補償データVtの信号を得る補償信号検出回路と、基準温度において前記ブリッジ回路の電圧に基づいて得られた基準データVsが記憶されている基準データ記憶部と、基準データ記憶部からの基準データVsと補償信号検出回路の温度補償データVtとに基づき、K1(Vt-Vs)+K2|Vt-Vs|の演算を行い、ゼロ点補償データを得る温度補償演算部と、温度補償演算部で得たゼロ点補償データを前記流量データに加算する加算部とを設け、流量データのゼロを補償することを特徴としたマスフローコントローラ。
請求項（抜粋）：
測定ガスが分流されるセンサ管の上流側と下流側に流れる測定ガスの温度に基づいて抵抗値が変化する一対の感熱コイルと、この感熱コイルと対向するように設けた一対の抵抗とによってブリッジ回路を構成し、このブリッジ回路の出力から流量データを得て主ガス流路を流れる測定ガスの流量を制御するマスフローコントローラにおいて、前記ブリッジ回路に定電流を供給する定電流回路と、周囲温度の変化にともなって変動する前記ブリッジ回路の電圧を検出し、温度温度補償データVtの信号を得る補償信号検出回路と、基準温度において前記ブリッジ回路の電圧に基づいて得られた基準データVsが記憶されている基準データ記憶部と、この基準データ記憶部からの基準データVsと前記補償信号検出回路の温度補償データVtとに基づき、K1(Vt-Vs)+K2|Vt-Vs|の演算を行い、ゼロ点補償データを得る温度補償演算部と、この温度補償演算部で得たゼロ点補償データを前記流量データに加算する加算部と、を設け、前記流量データのゼロを補償することを特徴としたマスフローコントローラ。ここで、K1及びK2は、基準温度及びこれと異なる二つの温度に於ける流量データと温度温度補償データVtに基づいて決定される係数。
IPC (2件)：
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