特許

J-GLOBAL ID：200903041930394240

ウエハボート

発明者： 山村 茂 ,  本間 浩幸
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-139307
公開番号（公開出願番号）：特開平6-333865
出願日： 1993年05月19日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【目的】 そり変形がしずらく、耐用寿命が長いウエハボートを提供する。【構成】 支持部材に複数の溝を形成し、この溝を用いて複数の半導体ウエハを積載する構成のウエハボートにおいて、支持部材(15)が一体成形により形成され、その断面形状が2つの対向する凹所(17)を有し、凹所(17)の実質的な最少曲率半径が0.5mm以上になっており、支持部材(15)の断面における対向する凹所(17)間の最小距離(D1)が実質的な最大径(D2)の5%〜50%になっていることを特徴とするウエハボート。

請求項（抜粋）：

支持部材に複数の溝を形成し、この溝を用いて複数の半導体ウエハを積載する構成のウエハボートにおいて、支持部材(15)が一体成形により形成され、その断面形状が2つの対向する凹所(17)を有し、凹所(17)の実質的な最少曲率半径が0.5mm以上になっており、支持部材(15)の断面における対向する凹所(17)間の最小距離(D1)が実質的な最大径(D2)の5%〜50%になっていることを特徴とするウエハボート。

IPC (5件)：

H01L 21/22 ,  B65D 85/00 ,  B65D 85/38 ,  H01L 21/324 ,  H01L 21/68