特許
J-GLOBAL ID：200903041930615629
処理ガス供給装置のクリーニング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-351796
公開番号（公開出願番号）：特開平9-186107
出願日： 1995年12月27日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：
【要約】【課題】 ガス供給系内の有機アルミニウム金属化合物を効率的に且つ完全に排除することができる処理ガス供給装置のクリーニングの方法を提供する。【解決手段】 液体収納容器20から液状の有機アルミニウム金属化合物18を液体流量制御手段42にて流量制御しつつ供給通路内に圧送して気化手段26にて気化させることにより処理ガスを形成し、この処理ガスを被処理体Wに成膜処理を行なう処理装置16へ供給する処理ガス供給装置14のクリーニング方法において、前記供給通路のクリーニング対象領域に加圧されたパージガスを流すことにより前記供給通路に留まっている液状の有機アルミニウム金属化合物を系外へ排除し、その後、前記クリーニング対象領域に前記有機アルミニウム金属化合物を溶解するための溶媒を導入して残留する有機アルミニウム金属化合物を溶解し、前記溶媒を排出するように構成する。これにより、有機アルミニウム金属化合物をクリーニング対象領域から略完全に排除する。
請求項（抜粋）：
液体収納容器から液状の有機アルミニウム金属化合物を液体流量制御手段にて流量制御しつつ供給通路内に圧送して気化手段にて気化させることにより処理ガスを形成し、この処理ガスを被処理体に成膜処理を行なう処理装置へ供給する処理ガス供給装置のクリーニング方法において、前記供給通路のクリーニング対象領域に加圧されたパージガスを流すことにより前記供給通路に留まっている液状の有機アルミニウム金属化合物を系外へ排除し、その後、前記クリーニング対象領域に前記有機アルミニウム金属化合物を溶解するための溶媒を導入して残留する有機アルミニウム金属化合物を溶解し、前記溶媒を排出するように構成したことを特徴とする処理ガス供給装置のクリーニング方法。
IPC (4件)：
H01L 21/285
, C23C 16/44
, H01L 21/205
, H01L 21/304 341
H01L 21/285 C
, C23C 16/44 J
, C23C 16/44 D
, H01L 21/205
, H01L 21/304 341 Z
