特許
J-GLOBAL ID:200903041942399131

感光性組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 市之瀬 宮夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-223509
公開番号(公開出願番号):特開平5-045875
出願日: 1991年08月08日
公開日(公表日): 1993年02月26日
要約:
【要約】【目的】 感光性レジスト形成組成物のプリントアウト剤又は光重合性レジスト組成物の光開始剤として用いることができ、特に低出力可視光レーザーによる記録材料に用いられ、高い感度を与える光遊離基発生剤を含有する感光性組成物を提供する。【構成】 一般式IまたはIIで示される2-ハロメチル-5-ビニル-1,3,4-オキサジアゾール化合物、または一般式IIIで示される光遊離基発生剤を含有することを特徴とする。【化15】
請求項(抜粋):
下記一般式IまたはIIで示される2-ハロメチル-5-ビニル-1,3,4-オキサジアゾール化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。【化1】(式中、Yは弗素、塩素、臭素、ヨウ素の各原子を表わし、R1及びR2は各々水素原子、アルキル基、アリール基、アセトキシ基、-C2H4Cl又は-CH2OCOOC2H5を表わし、R3は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基又はシアノ基を表わす。m及びnは各々1〜3の整数を表わす。)【化2】(式中、R1は水素原子、アルキル基、置換アルキル基、アルコキシカルボニル基、アリール基、置換アリール基またはアラルキル基を表わし、Aは酸素原子、イオウ原子、セレン原子、テルル原子、アルキルないしはアリール置換された窒素原子、またはジアルキル置換された炭素原子を表わす。Xは含窒素ヘテロ五員環を形成するのに必要な非金属原子群を表わす。Yは一般式IにおけるYと同義である。m及びnは1〜3の整数を表わす。)
IPC (5件):
G03F 7/029 ,  B41C 1/05 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/027 ,  H01L 21/027

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