特許
J-GLOBAL ID：200903041944683902

インクジェット式記録ヘッド

発明者：
赤羽 富士男

赤羽 富士男 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-076253
公開番号（公開出願番号）：特開平10-264374
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：
【要約】【課題】 高密度ヘッドを、信頼性を確保しつつ安価に提供する。【解決手段】 薄膜プロセスで形成された圧電素子と、異方性エッチングにより高密度に配置された圧力発生室12と、狭隘部13と、連通部14と、を備えるシリコン単結晶基板10を、線膨張係数が前記シリコン単結晶基板の2倍を越えない封止板20で封止して、前記封止板20を1面とする、一部に薄肉壁41を有する共通インク室31を前記シリコン単結晶基板10に隣接して備える。
請求項（抜粋）：
シリコン単結晶基板の異方性エッチングにより複数の長窓状に形成された、ノズル開口からインク滴を吐出させる圧力発生室と、前記シリコン単結晶基板の1面を被覆する弾性膜と、前記弾性膜のシリコン単結晶基板と反対面上に各圧力発生室に対応して、電極膜、圧電体膜、電極膜が順次積層された圧電素子と、からなるインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記シリコン単結晶基板の圧力発生室のノズル開口から遠い端部に狭隘部と連通部とを形成して、前記シリコン単結晶基板の他面を、前記連通部と共通インク室とを接続するインク供給連通口を有する封止板で封止して、前記封止板を1面とする共通インク室を前記シリコン単結晶基板に隣接して備えてなることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
IPC (2件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055
引用特許：
審査官引用 (11件)
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