特許
J-GLOBAL ID：200903041949658043
硬質基板の製造方法およびその製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
衞藤 彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-079323
公開番号（公開出願番号）：特開平10-277931
出願日： 1997年03月31日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：
【要約】【課題】 研磨クロスとの接触研磨と、研磨液との接触によるフロート研磨との両方の利点を得ることができ、これにより表面欠陥を大幅に改善することができる硬質基板の製造方法およびその製造装置を提供する。【解決手段】 保持部6によりワーク10に荷重をかけて研磨する。接触研磨を終了する際、排出弁5を閉じる。研磨クロス2の上面に研磨液71の液溜めを形成する。保持部6による荷重を取り除き、ワーク10を研磨クロス2から徐々に離脱させる。ワーク10と研磨クロス2との間に適度な水膜が形成される位置に止まるように保持する。ワーク10を研磨クロス2から離脱させフロート研磨をする。定盤1中心から外周方向にかけて水平方向のオシュレーションを与える。研磨クロス2上に研磨液71に替えリンス水72を供給する。
請求項（抜粋）：
硬質基板に研磨荷重をあたえ、研磨クロスに接触させて該硬質基板を研磨した後に、研磨クロス表面に研磨クロスと前記硬質基板との間に水膜を形成するに足る深さの液溜めを形成すると共に、前記研磨荷重を取り除くことにより前記硬質基板を研磨クロスとの接触から離脱させて、前記硬質基板の表(ひょう)面を加工液により加工することを特徴とする硬質基板の製造方法。
IPC (2件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 321
B24B 37/04 Z
, H01L 21/304 321 M
