特許

J-GLOBAL ID：200903041951608002

ウエハ支持部材

発明者： 長崎 浩一
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-091783
公開番号（公開出願番号）：特開2000-286331
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】ウエハ支持部材1の温度を正確に応答性良く測定できるようにする。【解決手段】ウエハWの載置面3を備えた板状セラミック体2中に、WとReの体積比がW:Re=94:6〜97:3である合金からなる抵抗体6aと、WとReの体積比がW:Re=73:27〜76:24である合金からなる抵抗体6bを先端で接合して構成した熱電対6を埋設してウエハ支持部材1を構成する。

請求項（抜粋）：

ウエハの載置面を有する板状セラミック体中に、異なる抵抗温度係数を有する2つの抵抗体を先端で接合して構成した熱電対を埋設したことを特徴とするウエハ支持部材。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  C23C 14/50 ,  H01L 21/205

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  C23C 14/50 Z ,  H01L 21/205

Fターム (16件)：

4K029EA08 ,  4K029JA01 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA16 ,  5F031HA37 ,  5F031JA08 ,  5F031JA46 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F045EK09 ,  5F045EM02 ,  5F045EM05 ,  5F045EM09 ,  5F045GB05

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-298062
  
• 熱電対の構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-269063   出願人：株式会社いすゞセラミックス研究所
• 導電性高温溶融物の連続温度測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-097926   出願人：株式会社ニレコ
• 特開平4-298062