特許

J-GLOBAL ID：200903041958071942

光導波路素子及び光導波路素子の製造方法

発明者： 小野 英輝
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 亀谷 美明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-129997
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321452
出願日： 1999年05月11日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】 設置面積を拡大せずに複雑な光波回路を形成可能である高性能・高歩留まりの光導波路素子及び光導波路素子の製造方法を提供する。【解決手段】 光導波路素子100は,Si基板102と基板102上に順次積層された第1光波回路層112及び第2光波回路層120とを備えている。第1光波回路層112には,基板102側に形成される第1クラッド層104と第1コア部108と第2光波回路層120側に形成される第2クラッド層110とから第1の光導波路構造が形成される。また,第2光波回路層120には,第2コア部116と第2光波回路層120の第3クラッド層118とから第2の光導波路構造が形成される。第1光波回路層112と第2光波回路層112とは直接積層されているため,第1コア部108と第2コア部116との間で方向性光結合を生じさせることができる。

請求項（抜粋）：

光導波路素子であって:それぞれがコア部と前記コア部を被覆するクラッド層とから構成されており,順次積み重なって多層構造を成す,nの光波回路層を備えることを特徴とする(nは,2以上の整数である),光導波路素子。

IPC (2件)：

G02B 6/122 ,  G02B 6/13

FI (2件)：

G02B 6/12 A ,  G02B 6/12 M

Fターム (10件)：

2H047KA04 ,  2H047KA12 ,  2H047LA11 ,  2H047PA05 ,  2H047PA24 ,  2H047QA04 ,  2H047QA07 ,  2H047RA00 ,  2H047TA01 ,  2H047TA42