特許

J-GLOBAL ID：200903041961178235

微粒子成分分析装置を用いた微粒子の組成特定方法

発明者： 高原 寿雄 ,  高松 幸彦 ,  浅野 清
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-097309
公開番号（公開出願番号）：特開平7-306143
出願日： 1994年05月11日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】 微粒子の組成を特定することにより,半導体製造装置等においてきめ細かな管理を可能とする。【構成】 フィルタ2上に捕集された微粒子の一部をアスピレータ3によりスキャンしながら吸引し,前記吸引した微粒子をマイクロ波を利用して原子化・イオン化して励起・発光させ,発光した波長の異なる複数の光をそれぞれ異なる波長を測定できるように測定波長が設定された複数の分光器20bに導き,その分光器の後段に配置された光電変換器20cにより電気信号に変換し,複数の元素の特定を行う微粒子成分分析装置において,前記微粒子に含まれる元素の発光の同時性から組成を特定し,発光の強弱から複数の元素の組成比を演算する。

請求項（抜粋）：

フィルタ上に捕集された微粒子の一部をアスピレータによりスキャンしながら吸引し,前記吸引した微粒子をマイクロ波を利用して原子化・イオン化して励起・発光させ,発光した波長の異なる複数の光をそれぞれ異なる波長を測定できるように測定波長が設定された複数の分光器に導き,その分光器の後段に配置された光電変換器により電気信号に変換し,複数の元素の特定を行う微粒子成分分析装置において,前記微粒子に含まれる元素の発光の同時性から組成を特定し,発光の強弱から複数の元素の組成比を演算することを特徴とする微粒子成分分析装置を用いた微粒子の組成特定方法。