特許
J-GLOBAL ID：200903041963102902
センサ用圧電振動子の周波数調整方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-079944
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260660
出願日： 1994年03月26日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、センサ圧電振動子のセンサ電極表面を覆う化学反応物質が液相を持たず固体からいきなり気体昇華するものである場合は、ゆっくり蒸着することが出来ないため、蒸着によるセンサ用圧電振動子の周波数調整方法が確立されていない。これを確立することである。【構成】 圧電振動子の電極の一部分及び全部に、化学反応物質を介して又は電極に直接、周波数調整用の金属を蒸着して、周波数調整することにより、目的が達成された。
請求項（抜粋）：
圧電振動板に電極を蒸着し、該電極に化学反応物質を付着させて、センサ電極としたセンサ用圧電振動子において、該圧電振動板の両面にセンサ電極を設け、該センサ電極の中央部又は該センサ電極の周辺部へ、化学反応物質の上又は直接電極に、周波数調整用電極を蒸着して、センサ用圧電振動子の周波数調整を行うことを特徴とするセンサ用圧電振動子の周波数調整方法。
IPC (4件)：
G01N 5/02
, H03H 3/04
, H03H 9/13
, H03H 9/17
