特許
J-GLOBAL ID：200903041965907819
カラーフィルターの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 徳廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-086928
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273611
出願日： 1993年03月23日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 フォトリソ工程において残った着色樹脂の残渣を完全に除去し、生産効率を向上させたカラーフィルターの製造方法を提供する。【構成】 透明な感光性樹脂中に少なくとも着色材料を分散してなる着色樹脂を基板上に塗布し、加熱して仮硬化した後、フォトリソ工程における露光、現像を行い、次いで再度加熱し本硬化して一つの色を形成し、次いで同様の工程で他の色を順次形成してカラーフィルターを製造する方法において、前記仮硬化も含めた加熱処理前後に、前記カラーフィルター基板上の少なくとも電極をIC等の回路と実装する為の実装端子該当部に、UV光を照射するのと同時あるいは照射前からオゾンを注入し、前記感光性樹脂の残渣を分解し、カラーフィルター形成後の残渣成分を除去するカラーフィルターの製造方法。
請求項（抜粋）：
透明な感光性樹脂中に少なくとも着色材料を分散してなる着色樹脂を基板上に塗布し、加熱して仮硬化した後、フォトリソ工程における露光、現像を行い、次いで再度加熱し本硬化して一つの色を形成し、次いで同様の工程で他の色を順次形成してカラーフィルターを製造する方法において、前記仮硬化も含めた加熱処理前後に、前記カラーフィルター基板上の少なくとも電極をIC等の回路と実装する為の実装端子該当部に、UV光を照射するのと同時あるいは照射前からオゾンを注入し、前記感光性樹脂の残渣を分解し、カラーフィルター形成後の残渣成分を除去することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
引用特許：
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