特許
J-GLOBAL ID：200903041967425684
マスク保護装置の剥離方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 晃一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-174117
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005982
出願日： 1995年06月17日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：
【要約】【目 的】 マスクに塵埃等が付着するのを防止する目的で石英基板上に接着されるペリクルをきれいに、かつ短時間で基板より剥離することができ、しかも剥離が場所を問わずどこでも行えるようにする。【構 成】 ペリクルを石英基板ごと40°C以上の温水に浸してから剥離する。
請求項（抜粋）：
マスクやレチクルに塵埃等が付着するのを防止する目的でマスクを覆うようにして基板上にホットメルトタイプの接着剤を用いて貼着されるマスク保護装置の基板よりの引剥がしを温水に浸してから行うことを特徴とする剥離方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 J
, B65H 41/00 B
