特許
J-GLOBAL ID：200903041969266443
サーマルインクジェットヘッド及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-046632
公開番号（公開出願番号）：特開平11-245412
出願日： 1998年02月27日
公開日（公表日）： 1999年09月14日
要約：
【要約】【課題】断面が理想形のオリフィスを形成したサーマルインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。【解決手段】シリコン基板20上に共通電極21、個別配線電極22、抵抗23、駆動回路24、インク供給路25、インク供給孔26及び不図示の共通電極給電端子や駆動回路端子等が形成され、その上に隔壁部材27が積層されてインク供給路25から抵抗23までのインク溝29が形成される。次にこの上に第1のオリフィス板28を張り付けてインク溝29に蓋をすると共に抵抗23に対応する位置に最終オリフィスの設計値より大きめの径のオリフィス31を加工する。続いてこの第1のオリフィス板28の上に第2のオリフィス板32を張り付けて第1のオリフィス板28の各オリフィス31に対応する位置に設計値の径のオリフィス33を形成し、断面が全体として吐出方向に先細り形状のオリフィスを完成する。
請求項（抜粋）：
複数の発熱素子をアレー状に配設した発熱ヘッドを複数設け、前記発熱素子上に供給されるインクを該発熱素子にて加熱し、前記インクと前記発熱素子の界面に気泡を発生させることにより該発熱素子に対応するオリフィスからインク滴を吐出するサーマルインクジェットヘッドの製造方法であって、シリコン基板上に設けられた前記発熱素子と所定の間隔を隔て、第1のオリフィス板を取り付ける工程と、該第1のオリフィス板の前記発熱素子に対応する位置に所定の孔径の多数の第1のオリフィスを形成する工程と、該第1のオリフィス板に密着して第2のオリフィス板を設ける工程と、該第2のオリフィス板の前記第1のオリフィスに対応する箇所に該第1のオリフィスより小径の第2のオリフィスを形成する工程と、を含むことを特徴とするサーマルインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 N
