固体撮像素子、及び該素子を用いた撮像装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小林良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-266171
公開番号（公開出願番号）：特開2004-103964
出願日： 2002年09月12日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】可視光撮像と赤外光撮像とが可能な固体撮像素子を低廉なコストで提供し、且つ小型化も図る。【解決手段】表面にPN接合フォトダイオードを形成したシリコン基板10の裏面に赤外受光層13を形成し、基板10の内部を通過した赤外光によりキャリアを生成する。可視光撮像モードでは、N型領域11近傍の基板10表面と赤外受光層13下面とを短絡し、キャリアが空乏層12に入り込むのを抑制する。赤外光撮像モードでは、赤外受光層13下面に負電圧を印加することにより空乏層12を拡大し、赤外受光層13で発生したキャリアが空乏層12へ入ることを促進する。空乏層12へ入ったキャリア(電子)は電界によって迅速にN型領域11まで移動し外部へと取り出される。これにより、従来のSi固体撮像素子とほぼ同程度の製造工程で赤外固体撮像素子が作製でき、大幅なコスト削減が可能となり素子サイズも小さくなる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

a)シリコン基板上の光照射面に形成され、少なくとも可視帯域の光を受けてキャリアを生成する又はキャリアを生成した後に蓄積するキャリア収集領域を有する可視受光手段と、 b)前記基板を挟んで前記可視受光手段の裏側の面又は該可視受光手段と同一面であってその近傍に設けられ、赤外帯域の光を受けてキャリアを生成する赤外受光手段と、 c)前記赤外受光手段で生成されたキャリアが前記キャリア収集領域まで移動することを促進する、又は逆に該キャリアがキャリア収集領域に到達することを抑制するように、前記基板内部でのキャリアの移動を制御するキャリア移動制御手段と、を備えることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (4件)：

H01L27/146 , H01L27/14 , H04N5/33 , H04N5/335

FI (4件)：

H01L27/14 A , H04N5/33 , H04N5/335 U , H01L27/14 K

Fターム (15件)：

4M118AB01 , 4M118BA09 , 4M118BA14 , 4M118CA03 , 4M118CB12 , 4M118FA06 , 4M118FA13 , 4M118FA33 , 5C024AX01 , 5C024AX06 , 5C024CY16 , 5C024GY01 , 5C024GY31 , 5C024HX47 , 5C024HX50

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-343482
半導体光検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-155926 出願人：三菱電機株式会社
受光素子及び光波長多重伝送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-262521 出願人：シャープ株式会社

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